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本文通过光线追踪算法结合基于麦克斯韦方程解的蒙特卡洛方法，模拟了光在梯度折射率指数硅／非晶硅（C-Si／a-Si）复合薄膜中的传播情况。文中将梯度折射率指数薄膜考虑成多层均匀折射率薄膜的叠加，每一层的折射率由该层所在位置决定。通过对透射、反射光子在梯度折射率指数薄膜中运动的统计研究，讨论梯度折射率指数薄膜的减反射性能。模拟结果获得了薄膜中粒子的浓度、粒子直径大小以及折射率梯度变化对薄膜反射率的影响规律，这有助于低反射率薄膜的设计，以期解决目前较为引人关注的镀膜玻璃光污染问题。