气体传感器及其进展

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表1所列的气体传感器中,目前以半导体式生产量最大,其中特别是以SnO_2为材料的气体传感器,最为实用。另外,汽车中检测燃烧情况的氧化锆传感器也很引人注目。FET型气体传感器可望制成超 Among the gas sensors listed in Table 1, the most practical is the gas sensor with the largest semiconductor production volume, especially SnO 2. In addition, the car to detect the combustion of zirconium oxide sensor is also very attractive. FET-type gas sensor is expected to make ultra
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