【摘 要】
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微机与电容传感器结合实现了惯性式微动机构位移性能的动静态检测，清晰地分辨出了驱动信号周期为５ｍｓ时微位移机构的响应波形．详细推导了测量系统的数学模型、非线性误差的表达式以
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微机与电容传感器结合实现了惯性式微动机构位移性能的动静态检测，清晰地分辨出了驱动信号周期为５ｍｓ时微位移机构的响应波形．详细推导了测量系统的数学模型、非线性误差的表达式以及极板不平行造成测量误差的理论公式，并给出了误差抑制方法．本文还分析了环境温漂和弹性回复等因素对测量精度的影响．
The combination of microcomputer and capacitive sensor realizes the static and dynamic detection of the displacement performance of the inertial micro-movement mechanism, clearly distinguishes the response waveform of the micro-displacement mechanism when the driving signal period is 5ms. The mathematical model of measurement system, the expression of nonlinear error and the theoretical formula of measurement error caused by non-parallel plate are deduced in detail, and the error suppression method is given. The paper also analyzes the impact of environmental temperature drift and elastic recovery factors on the measurement accuracy.
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