【摘 要】
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纳机电系统(NEMS)是基于微机电系统发展起来的新兴技术领域,同时也是纳米技术的重要组成部分.文中介绍了NEMS器件的微小尺寸、超高频率和超低能耗等重要特性,并列举了NEMS在
【机 构】
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天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室
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纳机电系统(NEMS)是基于微机电系统发展起来的新兴技术领域,同时也是纳米技术的重要组成部分.文中介绍了NEMS器件的微小尺寸、超高频率和超低能耗等重要特性,并列举了NEMS在生物、信息和纳米流体学等领域的应用.最后讨论了NEMS在发展中遇到的问题和涉及到的关键技术,如微观效应的影响,NEMS加工技术,NEMS的设计、仿真和优化,NEMS器件的驱动与检测,NEMS器件与宏观世界的通讯等.
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