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随着材料科学的不断发展,材料的几何特征越来越趋于小型化,薄膜、纳米线、纳米颗粒等低维材料不断涌现。由于低维材料尺寸小,传统的用于测量材料力学性能的实验方法因实际操作过程中出现的种种困难而不再适用。新近发展起来的微纳米压痕技术因其操作方便、分辨率高、数据采集实时量大等优点被广泛地用于测量低维材料的力学性能。本文利用纳米压痕仪测量镍薄膜的蠕变力学性能,并分析晶粒尺寸对蠕变指数的影响。