【摘 要】
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微焦点高分辨率软Ｘ射线源的焦点尺寸＜０．１ｍｍ，其Ｘ射线管不封闭，可分解并配有连续式抽真空系统，管电流，比一般的要低得多，尽管如此，其焦点功率密度却是很高，灯丝易烧损，因此必须是可更换的；此外，阳
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微焦点高分辨率软Ｘ射线源的焦点尺寸＜０．１ｍｍ，其Ｘ射线管不封闭，可分解并配有连续式抽真空系统，管电流，比一般的要低得多，尽管如此，其焦点功率密度却是很高，灯丝易烧损，因此必须是可更换的；此外，阳极靶材料为钨或钼，更换不同材料的阳极靶可改变Ｘ射线的波长、以适应不同的用途。小焦点有利于调出短焦距而不产生半影，提高成象清晰度，其分辨率可达６μｍ，比一般高出一个数量级；放大率Ｍ＝１～５０，是在现代电子光学技术和高真空技术基础上的新成果，此项成果适用于对产品中微细缺陷的检测和实物微细组织结构的分析。
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