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介绍MEMS传感器的特点和应用，功能安全的主要概念、原则和方法，以及对MEMS传感器构成的安全监控系统进行功能安全评估的范围和适用标准。
MEMS传感器安全监控系统的功能安全
【摘 要】
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介绍MEMS传感器的特点和应用，功能安全的主要概念、原则和方法，以及对MEMS传感器构成的安全监控系统进行功能安全评估的范围和适用标准。
【机 构】
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机械工业仪器仪表综合技术经济研究所
【出 处】
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中国仪器仪表
【发表日期】
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2008年7期
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