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多晶硅敏感技术(连载七)
多晶硅敏感技术(连载七)
来源 :传感器技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wlh0089
【摘 要】
:
多晶硅敏感技术(连载七)王善慈(东北传感技术研究所)SensingTechnologyBasedonPolycrystallineSilicon(SerialSeven)¥WangShanci(NortheastChinaResearchInstit...
【作 者】
:
王善慈
【机 构】
:
东北传感技术研究所
【出 处】
:
传感器技术
【发表日期】
:
1995年1期
【关键词】
:
多晶硅
敏感技术
热敏元件
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多晶硅敏感技术(连载七)王善慈(东北传感技术研究所)SensingTechnologyBasedonPolycrystallineSilicon(SerialSeven)¥WangShanci(NortheastChinaResearchInstit...
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