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半导体压力传感器的动向樱井止水城等随着工厂自动化和家庭自动化的进展，各种传感器大量应用，其成本也因大批量生产而显著降低。温度传感器、磁传感器和光传感器是它们的代表产品。压力传感器也致力于应用集成电路技术的半导体化，实现了高性能化和降低成本，现已广泛用...
半导体压力传感器的动向
【摘 要】
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半导体压力传感器的动向樱井止水城等随着工厂自动化和家庭自动化的进展，各种传感器大量应用，其成本也因大批量生产而显著降低。温度传感器、磁传感器和光传感器是它们的代表产
【出 处】
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现代计量测试
【发表日期】
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1994年1期
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