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薄膜电阻器的低频噪声有别于常规电阻器的噪声特征，与其结构和工艺密切相关。通过溅射工艺生产的阻值为1.5kΩ镍铬薄膜电阻器分别在生产完成和1000h老化试验之后进行了低频噪声测量和分析得到器件低频噪声特征，结合电子元器件低频噪声理论探讨了器件中各种噪声成分的来源及产生机制并给出该镍铬薄膜电阻生产线降低噪声的工艺手段。并讨论了电迁移损伤对1／f噪声特征的影响，指出噪声的异常波动对电迁移损伤具有明确的指示作用。