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纳米光刻技术的现状和未来
纳米光刻技术的现状和未来
来源 :物理 | 被引量 : 0次 | 上传用户:franky_816
【摘 要】
:
纳米技术是 2 1世纪信息科学的一项关键技术 ,纳米结构制作是纳米技术的重要组成部分 .纳米光刻技术是制作纳米结构的基础 ,具有重要的应用前景 .文章对光学光刻技术进行了概
【作 者】
:
陈献忠
姚汉民
陈旭南
李展
罗先刚
【机 构】
:
中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室; 中国科学院光电技术研究所微细加工光?;
【出 处】
:
物理
【发表日期】
:
2004年期
【关键词】
:
纳米技术
纳米光刻
纳米结构制作
应用前景
【基金项目】
:
中国科学院知识创新工程项目 (批准号 :A2K0 0 0 9) ;微细加工光学技术国家重点实验室开放基金课题 (批准号 :KFS4)资助项目
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纳米技术是 2 1世纪信息科学的一项关键技术 ,纳米结构制作是纳米技术的重要组成部分 .纳米光刻技术是制作纳米结构的基础 ,具有重要的应用前景 .文章对光学光刻技术进行了概述 ,介绍了几种纳米光刻技术的新途径、发展现状和关键问题 ,最后讨论了纳米光刻技术的应用前景
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