论文部分内容阅读
借鉴欧洲空间中心所用检漏仪的原理及主要技术措施，采用分子泵和机械泵的真空获得系统、钛升华泵和旁通阀真空维持系统、高灵敏的质谱分析系统，研制出了一次能检测出多个系统的高灵敏的多种示漏气体分析仪。文章介绍该分析仪的原理、设计方案、设计特点、设计计算。进行了性能测试，结果表明：该分析仪在大气环境条件下，最小可检测Ｈｅ，ＣＦ４的浓度小于５×１０－８，对Ｎｅ小于５×１０－７。