高灵敏太赫兹阵列检测器的低噪声读出电路

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本文基于Nb5N6微测辐射热计(microbolometer)低噪声、高阻抗和高响应率的特性,为1 ×64阵列的Nb5N6 microbolometer设计了极低噪声的多通道读出电路。读出电路包含直流偏置电路,一、二级放大电路和多通道选择电路等几个部分,对检测器阻抗变化具有较强的鲁棒性,成功实现对64通道的微弱电压信号的放大和采集。电路具有优异的低噪性能,测量且分析比较了电路噪声对Nb5N6 microbolometer的影响。电路单通道输入阻抗达100 kΩ,增益约为60 dB,带宽约
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