【摘 要】
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介绍了多轴压电转换（PZT）型微机械系统（MEMS）陀螺仪的工作原理及其特点,并给出了一种与之相对应的专用集成电路ASIC前端电路的设计方法。首先要驱动该类型陀螺仪使之进入共振模式
【机 构】
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介绍了多轴压电转换（PZT）型微机械系统（MEMS）陀螺仪的工作原理及其特点,并给出了一种与之相对应的专用集成电路ASIC前端电路的设计方法。首先要驱动该类型陀螺仪使之进入共振模式,只有当陀螺仪处于共振模式时,检测到的信号才是真正的角速度信号。ASIC前端电路是MEMS器件和后续电路的接口部分,需要将MEMS产生的电荷信号转换成电路可处理的电压信号。该前端电路还对检测到的信号进行了关键处理,降低了后续电路的设计难度。
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