论文部分内容阅读
介绍了亚微米电子束曝光机光路与结构设计，该电子光学系统采用透镜内偏转设计，系统象差小，偏转灵敏度高，工件面上电流密度大，通过调试和使用，电子束流、最小电子束斑直径等主要设计指标均达要求。
亚微米电子束曝光机镜筒光路与结构
【摘 要】
：
介绍了亚微米电子束曝光机光路与结构设计，该电子光学系统采用透镜内偏转设计，系统象差小，偏转灵敏度高，工件面上电流密度大，通过调试和使用，电子束流、最小电子束斑直径等主要设计
【机 构】
：
信息产业部电子第48研究所
【出 处】
：
微细加工技术
【发表日期】
：
2000年4期
其他文献
速度是高考物理中的一个十分重要的概念，其综合性的考查基础而又灵活，而速度的相对性更是重中之重，要求学生要加深理解、熟练应用，做到既要“知其然”，也要“知其所以然”，下面例谈
高校加强宿舍文化建设能丰富和发展校园文化,促进校风、学风建设,提高学生综合素质。当前要改善宿舍硬件条件,完善宿舍制度文化,引导学生的宿舍行为文化。
安全水池作为反应堆的重要安全设施,承担着反应堆正常运行时的多项重要功能。在设计反应堆安全水池清淤系统的基础上,对清淤系统中的清洗系统进行研究。在研究中,选择了排污
目的探析瑞替普酶静脉溶栓治疗超早期脑梗死的疗效.方法：选取我院收治的超早期脑梗死患者100 例为对象进行研究,将其分为观察组和对照组,各50 例.采用阿替普酶治疗对照组,采用
为了研制可调谐光纤光栅滤波器而采用拉伸装置和光纤光栅一体化的微小器件结构.实现方法是由微细加工技术加工制造一种新的波长可变光纤光栅滤波器用驱动器,该微型驱动器采用
目的:探讨纳布啡+丙泊酚+芬太尼在无痛人流中的应用效果,以及此种用药方法与传统的丙泊酚+芬太尼在无痛人流中的应用效果比较。方法:将健康早期妊娠ASAⅠ或Ⅱ级人工流产的妇
分离交易可转债兼具债权和股权融资的特性,其理论价值包括纯债券价值和认股权证价值。在市场上,分离转债价格主要受权证价格变动影响。对于投资者而言,准确把握股票买入的时
为了更好地控制体重,营养师一般建议正常人的三餐比例可以调整为4:4:2,晚餐以主食(碳水化合物)和蔬菜为主,清淡易消化。推荐几种类型的晚餐食谱,以每天摄入1400千卡热量的人
头屑是常见的皮肤问题，让我很是烦恼。后来，朋友向我推荐了一个去头屑的方法：将黑豆100克放入锅中，加入适量的清水煮软，将黑豆过滤。用煮好的汤汁来清洗头发，可有效抑制头皮屑，防止
我国国有控股上市公司目前在独立董事制度中存在着独立董事对公司的关注不够,独立董事的信息劣势及独立董事构成偏低等问题。完善独立董事制度,当前要提高独立董事的任职能力