光学真空镀膜机抽气系统结构优化设计

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多年来,在真空镀膜生产中,镀膜后工件表面污点的出现,造成废品率偏大的问题,一直是困扰该行业的一大难题。分析可能产生此问题各种原因,提出解决此问题的思路和方案,对真空室抽气系统结构进行优化设计。通过镀膜试验验证,优化设计的结构,很好的解决了工件表面污点的产生,降低了工件的废品率和生产成本,从结构原理上得到彻底的解决,证明新结构设计的正确性。
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