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本文研究了氢原子与Si中4d过渡杂(Pd,Rh,Ru,Mo)引入深入中心的相互作用,得到了Si中这些深中心被钝化的难易程度。从钝化角度支持了Si:Pd与Si:Rh中有关能级属于同一中心、不同荷电态的判断,同时提出了Si:Mo中E(0.53)和H(0.16)两个能级属于同一中心、不同荷电态的证据,通过氢对已知同一中心、不同荷电态两个能级的相互作用,对氢的钝化机理作了初步探讨。