【摘 要】
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快速层级算法（FHM）是边界元法求解3D电容积分方程的一种加速方法,该方法基于分层近似对电势系数矩阵隐式表示,使求解的时间复杂度降低到O（n）.改进算法对FHM做了两点改进：（1）给出了分
【机 构】
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武汉大学物理科学与技术学院,武汉大学微电子信息技术研究院
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快速层级算法（FHM）是边界元法求解3D电容积分方程的一种加速方法,该方法基于分层近似对电势系数矩阵隐式表示,使求解的时间复杂度降低到O（n）.改进算法对FHM做了两点改进：（1）给出了分层近似的理论依据,这种分层依据适用于所有导体结构而无需重复试验.（2）利用层级关系,直接计算面电荷,避免了迭代过程,加速了电荷求解.一系列典型3D互连线结构的测试显示：改进后的算法不仅提高了求解精度,而且计算时间也减少到改进前的1/3.
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