【摘 要】
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以电子辅助热丝化学气相沉积（Electron-assisted Chemical Vapor Deposition，EACVD）一体化系统为研究对象，根据金刚石沉积过程中对衬底温度的要求，设计了模糊PID衬底温度控制系统
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以电子辅助热丝化学气相沉积（Electron-assisted Chemical Vapor Deposition，EACVD）一体化系统为研究对象，根据金刚石沉积过程中对衬底温度的要求，设计了模糊PID衬底温度控制系统。使用结果表明：该系统对化学气相沉积（ CVD）金刚石的衬底温度参数控制精确，能够长时间稳定运行，可以制备出高质量的CVD金刚石涂层。
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