金刚石(111)光滑表面上甲基合成金刚石薄膜的成核生长机理

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运用量子力学半经验分子轨道AM1方法,计算了金刚石(111)光滑表面上甲基合成金刚石薄膜的成核和生长反应过程的机理,给出反应体系和过渡态的能量。结果表明,甲基是金刚石(111)表面上金刚石成核和外延生长的有效生长成分。
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