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压阻式硅微型加速度传感器的研制
压阻式硅微型加速度传感器的研制
来源 :传感器技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:yy080408
【摘 要】
:
利用微加工技术制作了压阻式硅微型加速度传感器,对制作的加速度传感器样品进行了动态测试,单臂梁结构的加速度传感器的灵敏度为1μV/gn,双臂梁结构加速度传感器的灵敏度为1.
【作 者】
:
席占稳
【机 构】
:
南京理工大学机械工程学院
【出 处】
:
传感器技术
【发表日期】
:
2003年11期
【关键词】
:
压阻式加速度传感器
硅
微加工
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利用微加工技术制作了压阻式硅微型加速度传感器,对制作的加速度传感器样品进行了动态测试,单臂梁结构的加速度传感器的灵敏度为1μV/gn,双臂梁结构加速度传感器的灵敏度为1.6μV/gn,结果与理论设计值基本吻合。
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