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接触式干涉仪被广泛地用来检定（3～4）等量块,这种仪器的示值误差δ=±（0.03＋1.5niΔλ/λ）μm。可是在一种不被注意的情况下，仪器的示值误差会达到0．3μm左右，这种情况在实际使用中又是可能出现的，因此有必要对此加以认识。
接触式干涉仪自由状态下零次干涉带的正确位置
【摘 要】
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接触式干涉仪被广泛地用来检定（3～4）等量块,这种仪器的示值误差δ=±（0.03＋1.5niΔλ/λ）μm。可是在一种不被注意的情况下，仪器的示值误差会达到0．3μm左右，这种情况在实际使用中
【机 构】
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河北省廊坊市计量测试研究所
【出 处】
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中国计量
【发表日期】
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2008年10期
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