【摘 要】
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针对CMOS成像器件结构的特殊性,发展并提出了“像元光子转移技术”法测量增益和读出噪声。同时对CMOS器件的线性度、满阱电荷、暗流、不均匀性和量子效率等性能的测试方法进
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针对CMOS成像器件结构的特殊性,发展并提出了“像元光子转移技术”法测量增益和读出噪声。同时对CMOS器件的线性度、满阱电荷、暗流、不均匀性和量子效率等性能的测试方法进行了研究。最后基于2k×2kCMOS芯片进行了性能测试实验,实验结果也验证了该测试方法的可行性和可靠性。
Aiming at the particularity of the structure of CMOS imaging device, a “pixel photon transfer technique” is developed and proposed to measure gain and readout noise. At the same time, the testing methods of the linearity of CMOS devices, full-well charge, undercurrent, inhomogeneity and quantum efficiency are studied. Finally, based on the 2k × 2kCMOS chip performance test experiment, the experimental results also verify the feasibility and reliability of the test method.
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