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采用低压化学气相沉积（LPCVD）在镍片上制备了厚度在400-1000μm范围的碳纳米管（CNTs）薄膜，研究了碳源（乙炔）流量对碳纳米管薄膜形貌和结构的影响．随乙炔流量的增加，碳纳米管薄膜厚度和产量增大．电子显微镜和拉曼光谱研究结果表明，在乙炔流量为10sccm下制备的碳纳米管直径分布范围最小（10-100nm），石墨化程度最高，缺陷密度最小，晶形最完整．随着乙炔流量的增大（30-90sccm），碳纳米管的直径分布范围增大（10-300nm），石墨化程度降低，缺陷密度增大，非晶化程度增加．因此，通过碳源