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设计了一个开环测试系统，利用锁相放大器能够对微弱信号进行有效检测的特点，采用交流激励、二倍频拾振的方法，实现了对热激励硅谐振梁压力传感器谐振输出的微弱信号的检测。该测试系统能够快速测得传感器的幅频特性曲线；通过处理，得到传感器的压力一频率特性。整个测试过程由程序控制实现。
热激励硅谐振梁压力传感器开环测试系统设计
【摘 要】
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设计了一个开环测试系统，利用锁相放大器能够对微弱信号进行有效检测的特点，采用交流激励、二倍频拾振的方法，实现了对热激励硅谐振梁压力传感器谐振输出的微弱信号的检测。该测
【机 构】
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重庆大学光电工程学院,模拟集成电路国家重点实验室,中国电子科技集团公司第二十四研究所
【出 处】
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微电子学
【发表日期】
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2006年6期
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