一种位移传感器空间细分的新方法

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通过在光敏元件输出的电信号与其空间位移之间建立一一对应关系,提出了一种利用高分辨率A/D转换器细分空间位移的新方法,进一步拓宽了栅式位移传感器的研究思路。
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