【摘 要】
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通过对±1激光莫尔信号进行建模和仿真，研究其规律为精密定位提供依据。该文应用激光衍射理论研究了±1次莫尔信号的位移特性，根据菲涅耳和夫琅和费衍射原理建立了
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通过对±1激光莫尔信号进行建模和仿真，研究其规律为精密定位提供依据。该文应用激光衍射理论研究了±1次莫尔信号的位移特性，根据菲涅耳和夫琅和费衍射原理建立了±1次莫尔信号与对应位移的数学模型，并通过计算机仿真对其变化规律进行研究。仿真结果表明，±1次莫尔信号具有稳定的周期性，非常适合作为精密定位的检测信号。在此基础上利用±1次激光莫尔信号进行了精密定位实验，结果表明基于±1次衍射莫尔信号的精密定位可获得±0．5μm的定位精度。
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