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以电解钛为原料，采用氢化、球磨破碎和脱氢的工艺，制备超细高纯钛粉。采用激光衍射粒度分析、SEM及氢和氧元素分析等手段，研究各工艺过程所得的TiH2粉和Ti粉的粒度及其分布、粉末形貌和氧含量的变化趋势。结果表明：电解钛经420℃氢化后，初次球磨得到中位径D50）为9．81gm的超细TiH2粉，再经600℃保温脱氢，最后经球磨分散得到D50为11．04μm，氧含量为0．48％（质量分数）的不规则形状超细高纯钛粉。在各个工艺过程中，氧含量（质量分数）增加量由低到高依次是TiH2粉脱氢、TiH2球磨制粉、脱氢钛粉