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罗门哈斯推出专用新型VISIONPAD^TM产品
罗门哈斯推出专用新型VISIONPAD^TM产品
来源 :上海化工 | 被引量 : 0次 | 上传用户:acecar
【摘 要】
:
在全球半导体行业化学机械研磨(CMP)技术及创新方面处于领先地位的罗门哈斯电子材料公司CMP技术事业部最近宣布其Vision Pad^TM研磨垫系列又增添了两款新品。这两款产品可提供
【作 者】
:
涂闽
【出 处】
:
上海化工
【发表日期】
:
2007年8期
【关键词】
:
产品
罗门哈斯电子材料公司
化学机械研磨
CMP技术
半导体行业
使用寿命
研磨能力
缺陷率
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在全球半导体行业化学机械研磨(CMP)技术及创新方面处于领先地位的罗门哈斯电子材料公司CMP技术事业部最近宣布其Vision Pad^TM研磨垫系列又增添了两款新品。这两款产品可提供世界级的低生产缺陷率、极高的研磨能力和更长的使用寿命。
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