【摘 要】
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以WCl6＋H2＋C2H2为反应体系，采用高频等离子化学气相沉积法（RF-PCVD）制备了纳米级碳化钨（WC）粉体，用HRTEM（高分辨率透射显微镜）、XRD（X光衍射）表征了WC粉体的形貌和物相组成，粉体为以WC为主
【机 构】
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太原理工大学洁净化工研究所,石家庄新谋新技术开发有限公司
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以WCl6＋H2＋C2H2为反应体系，采用高频等离子化学气相沉积法（RF-PCVD）制备了纳米级碳化钨（WC）粉体，用HRTEM（高分辨率透射显微镜）、XRD（X光衍射）表征了WC粉体的形貌和物相组成，粉体为以WC为主体、W2C和WC1-X的多相共存的混合体，微粒呈近球形与少量棱柱形混合体，粒径范围为50-100nm，平均粒径为70nm。
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