低占空比红外增强吸收的量子阱微柱阵列

来源 :红外与毫米波学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：Kdx1999

【摘要】

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为了提高长波红外量子阱探测器的光耦合效率和信噪比,以8.7μm为中心波长,设计和制备了量子阱亚波长微柱阵列结构.与已经报道的金属或介质微腔结构不同,本文的微柱结构有源区

【作者】

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叶新辉谢天夏辉陈熙仁李菊柱张帅君姜新洋邓伟杰王文静李玉莹刘伟伟刘芳李天信

【机构】

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上海理工大学材料科学与工程学院,上海 200093;中国科学院上海技术物理研究所红外物理国家重点实验室,上海 200083;上海师范大学数理学院,上海 200234;上海科技大学物质科学与技术学院,上

【出处】

：

红外与毫米波学报

【发表日期】

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2021年1期

【关键词】

：

量子阱红外探测器亚波长微柱阵列占空比红外反射谱

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为了提高长波红外量子阱探测器的光耦合效率和信噪比,以8.7μm为中心波长,设计和制备了量子阱亚波长微柱阵列结构.与已经报道的金属或介质微腔结构不同,本文的微柱结构有源区包含50周期的量子阱/垒层,结合低至0.18的占空比,可望在增强吸收的同时显著抑制暗电流.红外光谱测量验证了制备的微柱阵列在8～9μm波段8％以内的低反射率特征,从而为高工作温度、高信噪比的长波红外探测提供了新方案.

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