LaNiO3衬底上Pb（ZrxTi1-x）O3铁电薄膜及梯度薄膜的制备和研究

来源 :物理化学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：jinghong_22

【摘要】

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报道了在镍酸镧(LaNiO3,简称LNO)衬底上锆钛酸铅[Pb(ZrxTi1-x)O3,简称PZT]铁电薄膜及其成分梯度薄膜的结构、介电性能、铁电性能以及热释电性能.首先通过金属有机化合物热分

【作者】

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李建康姚熹

【机构】

：

苏州科技学院电子与信息工程系,西安交通大学电子材料研究所

【出处】

：

物理化学学报

【发表日期】

：

2005年5期

【关键词】

：

LaNiO3薄膜成分梯度薄膜锆钛酸铅热释电系数 LaNiO3 thin films compositionally graded thin films P

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报道了在镍酸镧(LaNiO3,简称LNO)衬底上锆钛酸铅[Pb(ZrxTi1-x)O3,简称PZT]铁电薄膜及其成分梯度薄膜的结构、介电性能、铁电性能以及热释电性能.首先通过金属有机化合物热分解(MOD)法在Si(100)基片上制备出LaNiO3薄膜,再通过溶胶-凝胶(sol-gel)法,在LNO/Si(100)衬底上制备出Pb(Zr0.80Ti0.20)O3[PZT(80/20)]和Pb(Zr0.20Ti0.80)O3[PZT(20/80)]铁电薄膜及其成分梯度薄膜.经俄歇微探针能谱仪(AES)对制备的

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