Improvement of tribological responses of sputtered MoSx films by indium ion implantation

来源 :中国科学：数学英文版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：jgkffdkjkdsf

【摘要】

：

Molybdenum disulfide （MoS2） has been applied to various space mechanisms as solidlubricant. The tribological characteristics of sputtered MoSx films ha

【作者】

：

YasuhideNAWATA HideoFUJIURA Ma

【机构】

：

DepartmentofMechanicalEngineeringHoseiUniversity3-7-2Kajinocho,Koganei,Tokyo,184-8584JAPAN,Departmen

【出处】

：

中国科学：数学英文版

【发表日期】

：

2001年S1期

【关键词】

：

INDIUM ion IMPLANTATION sputtered MoSx film low FRICTION COEFFICIENT indiumion i

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Molybdenum disulfide （MoS2） has been applied to various space mechanisms as solidlubricant. The tribological characteristics of sputtered MoSx films have been improved by inert gasion implantation. We tried to extend the wear life a

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