【摘 要】
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根据P3HT有机薄膜晶体管工艺,研制P3HT有机薄膜晶体管专用真空退火设备。主要介绍设备技术指标以及按其所进行的机械结构和电气控制系统具体设计。实验验证P3HT有机薄膜晶体
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根据P3HT有机薄膜晶体管工艺,研制P3HT有机薄膜晶体管专用真空退火设备。主要介绍设备技术指标以及按其所进行的机械结构和电气控制系统具体设计。实验验证P3HT有机薄膜晶体管经真空退火后,器件迁移率变大,阈值变小,输出特性的电流增大,接触电阻降低,设备满足工艺要求。
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