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研究了射频磁控溅射沉积在Pt电极上的Pb(Zr0.53Ti0.47)O2薄膜特性。经过不同温度退火处理后得到了钙钛矿结构的PZT薄膜。在对其结构的形成和变化进行研究的基础上,探讨了薄膜PZT相的形成机理。其电性能的测试表明,这种铁电PT(53/47)薄膜具有较好的铁民性能和疲劳特性。在600℃下PZT薄膜的剩余极化强度Pr为24.8μC/cm^2,矫顽场强度Ec为70kV/cm。210kV/cm的