【摘 要】
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本文报道了用单源溶液超声波雾化ＭＯＣＶＤ工艺在金属Ａｇ基体上制备ＹＢＣＯ超导膜的结果．将Ｙ（ＴＭＨＤ）３、Ｂａ（ＴＭＨＤ）２和Ｃｕ（ＴＭＨＤ）２按要求比例溶于四氢呋喃中，经超声波雾化，通过毛细管送入蒸发室，随即进入沉积室，在Ａｇ基体上沉积ＹＢＣＯ．该技术有效
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本文报道了用单源溶液超声波雾化ＭＯＣＶＤ工艺在金属Ａｇ基体上制备ＹＢＣＯ超导膜的结果．将Ｙ（ＴＭＨＤ）３、Ｂａ（ＴＭＨＤ）２和Ｃｕ（ＴＭＨＤ）２按要求比例溶于四氢呋喃中，经超声波雾化，通过毛细管送入蒸发室，随即进入沉积室，在Ａｇ基体上沉积ＹＢＣＯ．该技术有效地简化了ＣＶＤ过程，提高了所制样品的再现性．ＸＲＤ分析表明，ＹＢＣＯ膜具有较好的ｃ－轴取向和单相性．样品的零电阻温度Ｔｃｏ＝９１Ｋ，，Ｊｃ＝１．０４×１０４Ａ／ｃｍ２（７７Ｋ，０Ｔ）
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