【摘 要】
：
二氧化铪（HfO2）是广泛应用于微电子器件制备的电介质绝缘材料,其高介电系数四方相或立方相的稳定受掺杂元素含量和薄膜厚度的共同影响。采用纯水基溶胶-凝胶法在低阻硅基底上制
【机 构】
：
大连理工大学材料科学与工程学院,大连东软信息学院电子工程系
论文部分内容阅读
二氧化铪（HfO2）是广泛应用于微电子器件制备的电介质绝缘材料,其高介电系数四方相或立方相的稳定受掺杂元素含量和薄膜厚度的共同影响。采用纯水基溶胶-凝胶法在低阻硅基底上制备不同厚度的钇掺杂HfO2薄膜,通过对薄膜晶相结构的X射线衍射分析,明确了四方/立方相在室温下稳定的临界钇掺杂量和临界膜厚条件,并对薄膜介电系数随晶相结构的演变以及漏电流进行了测试分析,研究结果对于HfO2材料的微纳电容器件应用具有重要参考价值。
其他文献
现在完成时态可分为"相对完成"与"绝对完成"两种情况。"绝对完成"指相关行为或者状态在截至表述的时候已经完全结束,而"相对完成"指早已开始的行为或者状态截至表述的时候仍
亚硝酸盐是一种白色或微黄色粒状粉末,无臭、微咸湿、易潮解、易溶于水,它能使腌制的肉制品保持良好的色泽,还能抑制肉毒梭状芽孢杆菌,使肉制品有后熟风味。但近年来,由于亚
环境行政执法能力建设对于强化环境执法、提高环境执法的有效性、遏制环境污染和生态破坏,特别是促进依法管理环境具有重要意义。但因为受制约于不完善的法制、不健全的体制,
T4003铁素体不锈钢属于低铬的铁素体不锈钢,它与耐候钢和碳钢相比,耐蚀性能较好,与奥氏体不锈钢或中、高铬的铁素体不锈钢相比,成本又很低廉,因此是一种经济的不锈钢。采用此
随着集成电路制造工艺的进步和微处理器性能的提高,微处理器功耗问题日益严重,成为制约微处理器发展的主要瓶颈。片上高速缓存(Cache)功耗作为微处理器功耗的重要组成部分,降
目的通过与常规针刺法对比,评价毫针速刺法治疗第三腰椎横突综合征的临床疗效,以期能为针灸治疗本病提供疗效更优、损伤较少的新方法。方法将96例第三腰椎横突综合征患者随机
金属表面有机硅烷分子自组装成膜技术作为一种新型的环境友好型表面防护技术,在铝及其合金的防腐蚀领域有着广阔的发展前景。而现有的研究中,大多数集中在有机硅烷分子自组装
本论文以研究单底物白头翁皂苷酶转化为目标,筛选产酶菌种并优化培养条件,分离纯化了白头翁皂苷底物和酶解产物,并对白头翁皂苷糖苷酶的分子量,批量反应条件及酶性质进行了初
本文使用2008年执行的CHIP数据的城市移民部分,考察了不同类型职业流动及其收入效应的性别差异。研究表明,不同类型的职业流动具有不同的收入效应;相同的职业流动行为,收入效