固体浸没透镜几何参数测量的自准直方法

来源 :量子电子学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：jinyu1016

【摘要】

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本文介绍一种测量固体浸没透镜(SIL)几何参数的自准直方法.平行激光束经显微物镜会聚后入射到SIL上,SIL在三个不同的轴向位置处,其球面和底部平面的反射光再通过显徽物镜后会

【作者】

：

谢建平鲁拥华王超明海

【机构】

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中国科学技术大学物理系

【出处】

：

量子电子学报

【发表日期】

：

2001年3期

【关键词】

：

固体浸没透镜几何参数测量自准直法 solid immersion lens geometric parameters self-collimation me

【基金项目】

：

国家重点基础研究发展计划(973计划)

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本文介绍一种测量固体浸没透镜(SIL)几何参数的自准直方法.平行激光束经显微物镜会聚后入射到SIL上,SIL在三个不同的轴向位置处,其球面和底部平面的反射光再通过显徽物镜后会形成自准直光束.由SIL三个自准直位置可获得它的曲率半径,折射率等几何参数.本文给出这些自准直位置的表达式以及对两个SIL测量的结果.

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