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ＬＭ－６Ｄ激光干涉测量系统是于１９９８年推出的新型激光干涉仪，一次安装调整能同时测出位置（长度），Ｘ及Ｙ方向直线度、信仰角、偏摆角和滚动等六个参数值。不仅保持了激光干涉测量精度高的特点，同时实现了多参数同步测量，减少测量时间８０％，大大提高了测量效率。
新型激光干涉仪
【摘 要】
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ＬＭ－６Ｄ激光干涉测量系统是于１９９８年推出的新型激光干涉仪，一次安装调整能同时测出位置（长度），Ｘ及Ｙ方向直线度、信仰角、偏摆角和滚动等六个参数值。不仅保持了激光干涉测量精度高的特点，同时实
【机 构】
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中国计量科学研究院
【出 处】
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现代计量测试
【发表日期】
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2000年6期
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