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利用DLTS技术详细研究经钛溅射和RTA950℃处理在n型和p型硅里引进的深能级.结果表明在n型硅里有二个,在p型硅里有三个深能级生成.这些能级的浓度在10~(13)—10~(14)cm~(-3)之间.它们的产生可归因于替位钛原子,钛与RTA相互作用的络合物.
钛溅射和硅化钛形成在硅中引进深能级的研究
【摘 要】
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利用DLTS技术详细研究经钛溅射和RTA950℃处理在n型和p型硅里引进的深能级.结果表明在n型硅里有二个,在p型硅里有三个深能级生成.这些能级的浓度在10~(13)—10~(14)cm~(-3)之
【机 构】
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半导体超晶格国家重点实验室中国科学院半导体研究所,北京大学微电子学研究所
【出 处】
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电子学报
【发表日期】
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1993年8期
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