两面顶技术低温超高压烧结AlN陶瓷的研究

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研究了掺杂不同质量分数的Y2O3的A1N陶瓷在超高压状态下烧结的第二相组成和微观结构。研究表明,Y2O3是有效的低温烧结助剂,在低温超高压烧结下,掺杂不同比例烧结助剂的A1N陶瓷的第二相均为A15Y3O12,在4.4×10^3MPa,1500℃,1h的实验条件下,超高压烧结A1N陶瓷有着较好的微观结构,热导率可达到130W/(m·K)。
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