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本文针对电阻率测量中广为应用的四点共线探针测量电路,进行了原理及结构分析,给出了恒流源电路设计。同时,说明在高阻测量过程中,SMU电路配置,实际项目生成,以及在高阻测量设备中的应用特点等问题。
四点共线探针测试电路在高电阻率半导体测量中的应用
【摘 要】
：
本文针对电阻率测量中广为应用的四点共线探针测量电路,进行了原理及结构分析,给出了恒流源电路设计。同时,说明在高阻测量过程中,SMU电路配置,实际项目生成,以及在高阻测量
【机 构】
：
西安派瑞功率半导体变流技术股份有限公司
【出 处】
：
内江科技
【发表日期】
：
2019年7期
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