【摘 要】
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位移传感器在工业、机械等领域具有重要的应用意义.提出了一种基于高温共烧陶瓷(HTCC)的无线无源LC位移传感器,通过传统的HTCC封装工艺以及共烧技术,将铂电子浆料集成于陶瓷
【机 构】
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华东光电集成器件研究所,江苏苏州,215163;河北大学电子信息工程学院,河北保定,071002
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位移传感器在工业、机械等领域具有重要的应用意义.提出了一种基于高温共烧陶瓷(HTCC)的无线无源LC位移传感器,通过传统的HTCC封装工艺以及共烧技术,将铂电子浆料集成于陶瓷基底上.传感器结构简单,易于制备且成本低廉.测试结果表明,传感器在0～30 mm的位移测试范围内响应良好,平均测试灵敏度为0.602 MHz/mm.传感器频率与位移呈现出良好的线性关系,线性度误差仅为3.09％.而且传感器重复性较好,在三次重复性实验中,最大测试绝对误差为0.038 9 MHz,最大相对测试误差为0.22％.此外,设计实验验证了传感器具有900℃高温下参数测试能力,并且可以在腐蚀性环境中实现信号提取.
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