Ar/NH3混合气体放电等离子体研究进展

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【摘要】

：

低气压和大气压下Ar/NH3放电等离子体的研究进展,主要包括实验装置、产生条件、检测手段及应用等,分析了NH3的引入对等离子体性能及粒子种类的影响规律,最后展望了Ar/NH3等离

【作者】

：

李艳琴张秀玲

【机构】

：

大连大学物理科学与技术学院大连 116622

【出处】

：

真空科学与技术学报

【发表日期】

：

2017年11期

【关键词】

：

低气压等离子体大气压等离子体 Ar NH3

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低气压和大气压下Ar/NH3放电等离子体的研究进展,主要包括实验装置、产生条件、检测手段及应用等,分析了NH3的引入对等离子体性能及粒子种类的影响规律,最后展望了Ar/NH3等离子体研究的未来发展趋势.Ar/NH3混合气体放电等离子体由于含有NH+、NH+2、NH+3、NH2、NH、N、H等活性离子和激发态中性粒子,使其具有许多独特的性能,在便携式H2发生器、ε-Fe3N磁性液体合成、SiNx薄膜制备、碳纳米管改性、环境保护等方面都有较广泛的应用.

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