论文部分内容阅读
针对现有超大规模集成电路基板加工中存在的效率低问题,提出一种免除砂带张紧装置、消除砂带横向振动影响,达到柔性砂轮磨削效果的新型砂轮。新型砂轮结合了砂带磨削加工效率高、发热低的优点及砂轮磨削精度高和设备简单的条件,解决了集成电路基板高效磨削的问题。通过和树脂砂轮的对比实验表明,柔性砂轮对石英基板具有良好的磨削性能。