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通常．我们会在半导体加工机械中采用步进电机并且已经取得了极大的成功。但是．我们正在寻求能够削减成本的方案。我听说．采用一些新型VFD结合标准感应电机的方案能够在到达与步进系统相同性能的前提下缩减成本。请问各位是否具有相关的使用经验？如果有的话，这样做的优势和劣势各是什么呢？
变频驱动器（VFD）与标准感应电机的组合能否达到与步进电机相同的性能呢？
【摘 要】
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通常．我们会在半导体加工机械中采用步进电机并且已经取得了极大的成功。但是．我们正在寻求能够削减成本的方案。我听说．采用一些新型VFD结合标准感应电机的方案能够在到达与步
【出 处】
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工业设计
【发表日期】
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2010年3期
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