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本文给出了一种基于隧道效应的原子力显微镜的设计，以及部分测试结果。机械部分利用了金属的弹性变形，研制出的机械定位机构可在毫米级的范围内达到亚纳米级的定位分辨率。初步的实验表明，这是一种结构简单、刚性好、操作方便的多模态、多功能原子力显微镜。
基于隧道效应的原子力显微镜的研制
【摘 要】
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本文给出了一种基于隧道效应的原子力显微镜的设计，以及部分测试结果。机械部分利用了金属的弹性变形，研制出的机械定位机构可在毫米级的范围内达到亚纳米级的定位分辨率。初步
【机 构】
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华中理工大学
【出 处】
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仪器仪表学报
【发表日期】
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1995年S1期
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