灵敏低k材料与铜兼容的去胶机

来源 :电子工业专用设备 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wangfei871010
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
一种成功的抗蚀剂和刻蚀残渣去除胶机必须满足大批量IC制造环境中可接受的3个条件:(1)与灵敏低K介质材料的兼容性;(2)去除抗蚀剂和刻蚀残渣;(3)与基质金属包括铜、钴、钨等金属的兼容性.而Air Produl公司的EZ系列去胶机成功地满足了这些要求.一些含氟化物的产品与灵敏的低k介质,例如多孔的低k材料、HSQ和其它超低k材料是能够很好共处的.对由测量刻蚀速率以及键合保留物和暴露于这些除胶机的覆盖膜组成的介质材料确定的兼容性进行了评价,并对作图衬底的浸泡试验所确定的清洗效力也一并进行了评价.
其他文献
异议表达是人们日常生活中常见的现象,恰当得体的异议表达可以促使人们谈话的顺利进行与和谐关系的维持。反之,则可能导致谈话的终止、关系的破裂。现存研究中,对于异议表达
鉴于现浇钢筋混凝土楼板裂缝是目前较难克服的质量通病,结合多年施工经验对现浇混凝土裂缝的形成原因进行研究,总结出了楼板裂缝的综合性防治措施,以提高工程施工质量。 In
《三国演义》诗歌从属于中国古典诗歌,它不仅是该部名著的有机组成部分,而且也反映着中国灿烂的文化和文明。因此,《三国演义》诗歌的汉英翻译对目标语读者理解《三国演义》、中
在今天中国全球化和商业化的浪潮中,地方性的文化连续性往往是被忽视的。在本地历史遗产和文化记忆的辅助下,当今中国的文化转型期里,历史街区怎样才能在保持文化原真性的前
八氯二丙醚(Octachlorod ipropyl ether,S2,S421),化学名为2,3,3,3,2,′3,′3,′3′-八氯二丙醚,其结构式为CC l3—CHC l—CH2—O—CH2—CHC l—CC l3,分子量为377·0,比重为
学位
《哈克贝利·芬历险记》的狂欢化叙事特征表现在体裁的狂欢化和人物的狂欢化。小说明显表现出梅尼普体特征,渗透了狂欢式的世界感受,即交替与变更的精神、死亡与新生的精神。《
对于很多人来说,梦想总是遥不可及的。而在这一点上,Zhou无疑是幸运的。从正式成为职业选手开始,这位优秀的Carry先后获得了27个大大小小赛事的冠军。而在这其中,更是包括了举世瞩目的TI冠军。从最初的全国冠军,到之后的世界冠军,Zhou的梦想一个一个全部得到了实现。对他而言,他已经将梦想做到了巅峰。  2014年2月10日,这位在DotA圈摸爬滚打长达5年之久的老将做出了最后的选择。随着年龄的增
学位
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生、测量监控等方面人手,介绍了S226海滨大桥
期刊