【摘 要】
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<正>前言 单晶拉制后的棒材切断加工,过去历来不被生产和工艺所重视。同样也不被设备制造单位所重视。因为它即不需复杂的工艺技术,又无需对设备提出过于苛刻的要求。再加上
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<正>前言 单晶拉制后的棒材切断加工,过去历来不被生产和工艺所重视。同样也不被设备制造单位所重视。因为它即不需复杂的工艺技术,又无需对设备提出过于苛刻的要求。再加上长期以来,国内硅材料的生产仅限于φ75毫米以下。而其中φ50毫米左右的硅棒又占了绝大多数。因此长期以来,对切断设备的要求和需求量与其它材料的加工设备相比只占了很少的比重。 然而,在半导体材料的整个加工过程中,棒材的切断加工又是必不可少的一个环节。尤其是随着国内近年来硅工业的不断发
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