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本文介绍了国外在微电子工艺中以激光技术进行激光退火、激光划片、激光焊接、激光微调、激光制造集成电路及其检验等应用的状况。
激光技术在微电子工艺中的应用
【摘 要】
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本文介绍了国外在微电子工艺中以激光技术进行激光退火、激光划片、激光焊接、激光微调、激光制造集成电路及其检验等应用的状况。
【出 处】
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机电一体化
【发表日期】
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2002年6期
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